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集成电路组装后的清洗与免清洗技术
集成电路组装后的清洗与免清洗技术
来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:lwjjet
【摘 要】
:
从超声波清洗用清洗溶剂,特别是替代消耗臭氧层物质的氯化氟代碳(CFC)清洗溶剂等方面介绍了集成电路的清洗技术;还介绍了集成电路的免清洗工艺技术, 使用免清洗工艺技术对各
【作 者】
:
王劲松
【机 构】
:
华经微电子有限公司
【出 处】
:
电子元件与材料
【发表日期】
:
2001年4期
【关键词】
:
清洗
免清洗技术
消耗臭氧层物质
集成电路
组装
cleaning technology non-cleaning technology ozone deple
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从超声波清洗用清洗溶剂,特别是替代消耗臭氧层物质的氯化氟代碳(CFC)清洗溶剂等方面介绍了集成电路的清洗技术;还介绍了集成电路的免清洗工艺技术, 使用免清洗工艺技术对各道关键工序的控制及采用免清洗技术的主要优势.
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