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主要综述了第五代TFT-LCD制屏的最新工艺流程和技术进展,并通过图表将整个工艺流程划分为10个工序进行了概要说明.
第五代TFT—LCD制屏工艺的最新进展
【摘 要】
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主要综述了第五代TFT-LCD制屏的最新工艺流程和技术进展,并通过图表将整个工艺流程划分为10个工序进行了概要说明.
【机 构】
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上海华嘉光电技术有限公司
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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2005年1期
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