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上海光机所基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功
上海光机所基于MOEMS无阻塞16×16阵列光开关研制成功
来源 :传感器世界 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fantasyq1
【摘 要】
:
“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家“863”
【出 处】
:
传感器世界
【发表日期】
:
2005年6期
【关键词】
:
光开关
MOEMS
研制成功
上海光学精密机械研究所
阵列
阻塞
微光电子机械系统
上海交通大学
微纳米技术
光学实验室
中国科学院
计划项目
研究院
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“基于微光电子机械系统(MOEMS)无阻塞16×16阵列光开关”项目是中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室和上海交通大学微纳米技术研究院联合承担的国家“863”计划项目。
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