【摘 要】
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基于体硅加工工艺和纳米材料技术,研制微电机系统（MEMS）尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构,提高微电极电化学性能,制备具有三维立体微结构的安培型微电极传感器。利用硅的
【机 构】
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中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室
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基于体硅加工工艺和纳米材料技术,研制微电机系统（MEMS）尺度敏感微结构与纳米铂颗粒的复合结构,提高微电极电化学性能,制备具有三维立体微结构的安培型微电极传感器。利用硅的各向异性湿法腐蚀技术在毫米级的工作电极表面实现微米级的锥体形微池阵列,以H2O2为检测对象考察立体电极结构对传感器性能的改进效果,实验证明,立体结构的设计使传感器具有更低的检出限（8μmol/L）及更高的灵敏度（在0～200μmol/L浓度范围内检测灵敏度提高约85%）,且具有较好的线性和重复性。利用电化学方法在电极表面沉积铂黑,通过微观
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