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双槽电沉积法制备了不同调制波长的Cu／Ag金属多层膜（Cu膜和Ag膜等厚），用扫描电子显微镜观察了多层膜的层状结构，并研究了不同调制波长下多层膜的显微硬度变化。结果表明：双槽电沉积法制备的Cu／Ag多层膜层状结构明显。当调制波长大于100nm时，显微硬度随调制波长减小而增加；当小于100nm时，硬度随调制波长减小而降低；调制波长为100nm时，显微硬度取得最大值，为150HV。