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本文对叉指型类脂膜嗅敏传感器的设计、制作和测试进行了介绍.在微加工的化学电阻上涂敷人工合成的类脂膜可做成这种传感器.在室温气态条件下对9种气味进行了测试.对多数气味物质,器件的响应与浓度关系服从Stevens乘方定律,且各种气味引起器件膜电导改变的最小浓度与相应气味的人嗅阈值存在一定的相关性.
一种新型类脂膜嗅敏传感器的研制
【摘 要】
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本文对叉指型类脂膜嗅敏传感器的设计、制作和测试进行了介绍.在微加工的化学电阻上涂敷人工合成的类脂膜可做成这种传感器.在室温气态条件下对9种气味进行了测试.对多数气味
【机 构】
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中国科学院半导体研究所,中国科学院半导体研究所
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1993年2期
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