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在N2/H2O混合气流中将硅片上金覆盖的金属铟颗粒加热到800℃制备出了不同形貌的In2O3纳米结构,在距铟源不同距离处依次得到In2O3的八面体、纳米带、锯齿状纳米线和纳米链.采用拉曼光谱、扫描电镜、X射线衍射和透射电镜对产物进行了表征分析.结果表明,八面体、纳米带、锯齿状纳米线和纳米链均为立方相单晶结构的In2O3.基于气-固和气-液-固生长机理详细分析了八面体、纳米带、锯齿状纳米线和纳米链的生长过程,提出了不同形貌In2O3纳米结构的生长模式.