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大气状态下利用接触模式原子力显微镜(AFM)动态电场和静态电场及轻敲模式AFM静态电场制备了一维纳米光栅,对纳米光栅结构的特征进行了比较并对电场诱导阳极氧化加工的机理作了相应的理论分析。
AFM电场诱导氧化加工技术制备微纳米结构
【摘 要】
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大气状态下利用接触模式原子力显微镜(AFM)动态电场和静态电场及轻敲模式AFM静态电场制备了一维纳米光栅,对纳米光栅结构的特征进行了比较并对电场诱导阳极氧化加工的机理作
【机 构】
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上海交通大学薄膜与微细技术教育部重点实验室微米/纳米加工技术国家重点实验室,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
【出 处】
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航空精密制造技术
【发表日期】
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2012年3期
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