【摘 要】
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亚微米线条超大规模集成电路的发展，对硅基材料纳米级体缺陷的检测提出了要求。这一领域目前日益受到了国内外专家的重视。本文详细介绍了硅基材料纳米级体缺陷检测的国内外研
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亚微米线条超大规模集成电路的发展，对硅基材料纳米级体缺陷的检测提出了要求。这一领域目前日益受到了国内外专家的重视。本文详细介绍了硅基材料纳米级体缺陷检测的国内外研究现状，归纳了已出现的各种检测途径，如超声显微法、光学全息法及软Ｘ射线法等。文中分析了这一领域目前仍存在的问题，进而提出了一种基于瑞利散射定律及米氏散射理论的、利用激光散射检测硅基材料纳米级体缺陷的途径。
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