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基于ANSYS有限元分析软件,对承载力为500N的磁悬浮工作台的形变对其支承电磁铁磁场力的影响进行了分析。分析结果表明:当悬浮气隙为0.3mm且工作台上、下支承电磁铁处的最大形变量Δ1和Δ2分别不超过0.02mm和0.01mm时,磁悬浮工作台的承载性能得到提高。将有限元分析软件应用于磁悬浮工作台的设计中,对提高其设计质量具有重要意义。