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ＧａＡｓ／Ｓｉ弹性形变及其应力的理论模型钱文生，李明祥，夏海良，魏同立（东南大学微电子中心南京，２１００１８）在ＧａＡｓ／Ｓｉ技术中，始终存在３个主要问题，即晶格失配、热膨胀系数失配和反相畴的存在，这是阻碍ＧａＡｓ／Ｓｉ外延质量提高的重要因素，因为它...
GaAs／Si弹性形变及其应力的理论模型
【摘 要】
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ＧａＡｓ／Ｓｉ弹性形变及其应力的理论模型钱文生，李明祥，夏海良，魏同立（东南大学微电子中心南京，２１００１８）在ＧａＡｓ／Ｓｉ技术中，始终存在３个主要问题，即晶格失配、热膨胀系数失配和反相畴的存在，这是阻碍ＧａＡｓ／Ｓｉ外延质量提高的
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
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东南大学学报：自然科学版
【发表日期】
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1995年6期
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