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在多晶硅生产过程中会产出大量的渣浆,如不进行有效的固液分离,进行回收处理,不仅造成氯硅烷的浪费,还会对环境造成污染。随着近年来多晶硅产能扩大及环保要求的提高,目前所采用的传统渣浆处理工艺难以满足当前的生产及环境需求,因此优化改进既有处理工艺,必须采取适当策略对渣浆进行高效处理。对此,就多晶硅生产中渣浆处理工艺进行分析研究。