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用于制作小面积隧道结的悬挂光刻胶掩模
用于制作小面积隧道结的悬挂光刻胶掩模
来源 :低温与超导 | 被引量 : 0次 | 上传用户:Michaelyfj
【摘 要】
:
介绍了用悬挂光刻胶掩模制作 Pb 合金小面积超导隧道结的方法。工艺中采用光刻胶——铝膜——光刻胶的三层结构。其特点是:无须套刻对准、一次光刻,在整个制结过程中不需打开
【作 者】
:
李淑琴
时贤庆
【机 构】
:
中国科学院电子学研究所,中国科学院电子学研究所北京,北京
【出 处】
:
低温与超导
【发表日期】
:
1990年4期
【关键词】
:
隧道结
掩膜
半导体
光刻胶
二极管
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介绍了用悬挂光刻胶掩模制作 Pb 合金小面积超导隧道结的方法。工艺中采用光刻胶——铝膜——光刻胶的三层结构。其特点是:无须套刻对准、一次光刻,在整个制结过程中不需打开镀膜机钟罩。文中给出了悬挂光刻胶掩模和隧道结的 SEM 照片。
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