【摘 要】
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A method for accurate determination of the curvature radius of semiconductor thin films is proposed. The curvature-induced broadening of the x-ray rocking curve
【机 构】
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State Key Laboratory on Integrated Optoelectronics,Institute of Semiconductors,Chinese Academy of Sc
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A method for accurate determination of the curvature radius of semiconductor thin films is proposed. The curvature-induced broadening of the x-ray rocking curve (XRC) of a heteroepitaxially grown layer can be deter- mined if the dependence of the full width at half maximum (FWHM) of XRC is measured as a function of the width of incident x-ray beam. It is found that the curvature radii of two CaN films grown on a sapphire wafer are different when they are grown under similar MOCVD conditions but have different values of layer thickness.At the same time, the dlslocation-induced broadening of XRC and thus the dislocation density of the epitaxial film can be well calculated after the curvature correction.
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