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离子注入通道波导的制备和分析
离子注入通道波导的制备和分析
来源 :光电子.激光 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wangchuabnao
【摘 要】
:
本文报道了B~+离子注入熔融石英玻璃通道波导的制备,并对所制作的通道波导进行分析、测量和计算。更多还原
【作 者】
:
石洪军
马俊芝
范俊清
许承杰
【机 构】
:
长春光机学院,中科院长春物理所
【出 处】
:
光电子.激光
【发表日期】
:
1992年3期
【关键词】
:
波导
制造
离子注入
测量
计算
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本文报道了B~+离子注入熔融石英玻璃通道波导的制备,并对所制作的通道波导进行分析、测量和计算。更多还原
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