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MEMS模态测试的一个突出的特点在于非接触性,无论是振动激励还是响应测量,都只能是非接触的.为解决MEMS测试中非接触式的振动激励问题,对基础激励的原理进行了研究,并设计开发出基于压电陶瓷的MEMS测试用的多载荷加载台.这是一个能为MEMS测试提供振动、温度和压力这三种载荷的加载装置.从而为进一步开展MEMS的动态测试工作奠定了基础.