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用ＸＲＤ和ＳＴＭ研究了反应溅射沉积ＷＯｘ薄膜在电致变色过程中的物相结晶性及表面形貌。结果表明：着退色反应使非晶ＷＯｘ薄膜向有序化方向转变，表现为薄膜非晶胞衍射特征减弱。
α-WO_x薄膜电致变色反应中的结晶性能
【摘 要】
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用ＸＲＤ和ＳＴＭ研究了反应溅射沉积ＷＯｘ薄膜在电致变色过程中的物相结晶性及表面形貌。结果表明：着退色反应使非晶ＷＯｘ薄膜向有序化方向转变，表现为薄膜非晶胞衍射特征减弱。
【机 构】
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东北大学
【出 处】
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材料研究学报
【发表日期】
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1997年5期
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