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S．Wagner等在1974年第一次报道了单晶CIS太阳电池，其效率为12．5％。1976年，美国的LL．Kazmercki发表了第一块效率为6．6％的薄膜CIS／CdS太阳电池。1981年，一个巨大的突破是Boeing公司报道采用两步蒸发沉积的方法制作的多晶CIS薄膜电池效率达到9．5％。很快Boeing公司又于1982年报道了采用znxCd1-xS代替CdS，效率提高至10％。