一种光学仪器镜面面形的处理方法

来源 :光学技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：shuangdei

【摘要】

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光学镜面表面变形包含刚体位移和表面畸变,其中表面畸变是影响成像质量的主要因素,因此需去除刚体位移,分析表面畸变.通过坐标变换生成一个新的理论镜面,用该镜面拟合变形镜

【作者】

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毕勇翟嘉吴金虎胡企千

【机构】

：

南京中科天文仪器有限公司,杭州赛诺索欧电池有限公司,中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所

【出处】

：

光学技术

【发表日期】

：

2004年期

【关键词】

：

应用光学镜面畸变拟合面形误差最小二乘法

【基金项目】

：

江苏省经贸委及南京市经委基金;

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光学镜面表面变形包含刚体位移和表面畸变,其中表面畸变是影响成像质量的主要因素,因此需去除刚体位移,分析表面畸变.通过坐标变换生成一个新的理论镜面,用该镜面拟合变形镜面,用拟合镜面与变形镜面轴向差值计算出表面畸变的RMS值及PV值.实例计算表明该算法拟合精度较高,适用于抛物面、球面镜在支撑和装夹下的镜面面形精度分析.

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