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从振镜的本体结构，使用材料和电容位置传感器三方面来讨论了对其精度和速度的影响
振镜结构对精度和速度的影响
【摘 要】
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从振镜的本体结构，使用材料和电容位置传感器三方面来讨论了对其精度和速度的影响
【机 构】
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上海市激光技术研究所!上海; 200233;
【出 处】
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应用激光
【发表日期】
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2004年期
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