金属膨胀式真空计量标准

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介绍了新研制的金属膨胀式真空计量标准及其起始压力和体积比的测量方法,讨论了实际气体特性、温度变化和气体吸附等干扰效应,分析了标准装置的不确定度(1σ)。该标准的校准范围为105~10-4Pa,校准电容薄膜规和磁悬浮转子规时不确定度为0.01%~1.0%。 Introduced the newly developed metal expansion vacuum measurement standards and the measurement method of initial pressure and volume ratio, discussed the real gas characteristics, temperature changes and gas adsorption interference effects, the standard device uncertainty (1σ) was analyzed. The standard calibration range of 105 ~ 10-4Pa, calibration capacitance thin film gauge and magnetic rotor rotor timing uncertainty of 0.01% to 1.0%.
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