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介绍研究薄膜的新方法－－能量过滤电子衍射法，该方法借助透射电镜样品后扫描，薄膜的选区电子衍射花样顺序地扫过电子能量损失谱仪入口光闽，检测弹性散射电子强度与散射矢量关系，然后由径向分布函数理论，导出薄膜材料的最近邻原子间距和配位数等与结构有关的信息。通过多晶金薄膜和非晶钛铝薄膜的测试，获得满意结果。