【摘 要】
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为了进行MCP超薄防离子反馈膜的性能评价研究，并使这种膜层具有良好离子阻挡能力，利用电子束蒸发方法，在微通道板（MCP）输入面上制备一种超薄Al2O3防离子反馈膜，其膜层厚度为2nm时仍
【机 构】
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微光夜视技术重点实验室,北方夜视科技集团股份有限公司
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为了进行MCP超薄防离子反馈膜的性能评价研究，并使这种膜层具有良好离子阻挡能力，利用电子束蒸发方法，在微通道板（MCP）输入面上制备一种超薄Al2O3防离子反馈膜，其膜层厚度为2nm时仍连续致密。通过对Al2O3防离子反馈膜的电子透过特性测试，给出2nm及4nm厚防离子反馈膜对应的死区电压分别约为150V及200V；利用Monte—Carlo法模拟分析了Al2O3防离子反馈膜的离子阻挡特性，2nm及4nm厚Al2O3防离子反馈膜对碳离子等的阻挡率分别高于40％及86％，另外对有无膜的MCP电特性进行测试，
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