【摘 要】
：
在非接触搬运晶圆的全自动激光划片机中,一些翘曲的晶圆会导致切割平台真空吸附失效,从而造成图像模糊、无法自动对准等一系列问题,最终导致全自动激光划片机稳定性降低。本
论文部分内容阅读
在非接触搬运晶圆的全自动激光划片机中,一些翘曲的晶圆会导致切割平台真空吸附失效,从而造成图像模糊、无法自动对准等一系列问题,最终导致全自动激光划片机稳定性降低。本文提出了一种全新的辅助喷嘴结构,通过大量分析晶圆的翘曲方式,得出该结构由中心喷嘴和环形气腔辅助喷嘴组成,应用FLUENT有限元仿真软件,通过改变影响吹气压力的三个重要参数喷距、喷嘴直径、入口压力,对辅助喷嘴的射流特性进行仿真分析,得出辅助喷嘴的最优结构。
其他文献
该文从理论与实践的结合上，阐明了马克思主义中国化是真理具体性的本质要求，论证了马克思主义只有中国化才能在中国丰富发展和获得实现，最后提出和分析了实现马克思主义中国化的
新中国60年区域经济发展战略，经历了从追求平衡发展、非均衡发展、协调发展到统筹发展四个阶段。各阶段的区域发展战略对我国现代化建设均起到了积极作用，同时也不可避免地存在
在12月9目的《物理评论快报》（Physical Review Letters95，247005（2005））上，中国科学院物理所赵忠贤院士等人的一个研究成果被公布，继去年首次发现量子尺寸效应对超导临界温度（Tc）调制
山区经济是实现城乡统筹一体化发展的重要组成部分，党和国家给予了很多关注，但由于政策变迁，当前山区经济发展遇到一些障碍，如果不能很好解决将对和谐社会构建和小康社会的实现产
研究背景,物理是一门以实验为基础的学科,其中的很多规律、公式都是从实验现象中得来的。特别是初中热学部分的学习,知识点比较多且分散,既有记忆、理解的内容,又有繁琐的计
转变经济发展方式涉及面广、牵扯的问题多。转变的方向和重点、对策和措施如何选择，事关经济发展方式转变的进程和成效。笔者认为，按照科学发展观的内在要求，和我国目前经济运行
以“传感器应变片的发展历史、现状及其在工业自动控制与汽车控制系统的应用”为主题的“应变片技术的发展与应用”学术研讨会2月底在湖北泓盈传感技术有限公司（USI）举行。会议
机电数码和激光监控系统涉及机电检测和激光自动监控领域。它用电动机作动力源。采用机械传动，重力监测器通过钢丝绳在煤粉仓里上下运动，检测煤粉的存量、温度、湿度。摄像装置
在包含红外线光源的彩色读取中。由原稿反射的光因棒状透镜的色差，在对传感器IC的受光部上以不同的共轭长度聚焦。特别是红外线光源由于波长较长．因而取分辨率的劣化严重。为此
党的十七大报告指出：“走中国特色城镇化道路，按照统筹城乡、布局合理、节约土地、功能完善、以大带小的原则，促进大中小城市和小城镇协调发展。以增强综合承载能力为重点，以特大