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日前，北京卓锐微技术有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造，并基于卓锐微技术第二Cery2000高精度MEMS加速度传感器专用接口芯片进行信号调理。
卓锐微推出ACT2100型MEMS加速度传感器
【摘 要】
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日前，北京卓锐微技术有限公司推出ACT2100系列高精度MEMS加速度传感器。该系列加速度传感器采用先进的SOI体硅工艺制造，并基于卓锐微技术第二Cery2000高精度MEMS加速度传感器专
【出 处】
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中国集成电路
【发表日期】
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2009年8期
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