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溅射时氧氩气体比例对YBCO高Tc超导靶表面成分的影响
溅射时氧氩气体比例对YBCO高Tc超导靶表面成分的影响
来源 :四川工业学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:zhengguowei
【摘 要】
:
本文研究了氧氩气体经例对溅射法制备YBCO高Tc超导薄膜的质量的影响情况,对氧氩气体在1:4和由1:4变为1:7及由1:7变为1:4的情况进行了研究,得到了一些有意义的结果。
【作 者】
:
刘隆鉴
沈杰
【机 构】
:
复旦大学材料科学系
【出 处】
:
四川工业学院学报
【发表日期】
:
1995年1期
【关键词】
:
薄膜
溅射
表面成分
YBCO
高TC
超导体
thin film
sputtering
individual persistent line
surfa
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本文研究了氧氩气体经例对溅射法制备YBCO高Tc超导薄膜的质量的影响情况,对氧氩气体在1:4和由1:4变为1:7及由1:7变为1:4的情况进行了研究,得到了一些有意义的结果。
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