方形工件的数控抛光模拟计算与分析

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【摘要】

：

利用Preston方程,对实际中的磨头运动方式(平转动)进行了讨论 ,并用此运动方式的去除函数对一工件进行了模拟计算,同时用目前大口径光学元件的评价参数:P-V值,RMS值,以及波前

【作者】

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朱海波冯国英杨李茗刘义彬应娉邢德财韩

【机构】

：

四川大学电子信息学院,四川大学电子信息学院,成都精密光学工程研究中心

【出处】

：

激光杂志

【发表日期】

：

2005年2期

【关键词】

：

数控抛光去除函数 RMS梯度 computer controlled polishing removing function RMS gradient

【基金项目】

：

国家高技术研究发展计划(863计划)

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利用Preston方程,对实际中的磨头运动方式(平转动)进行了讨论 ,并用此运动方式的去除函数对一工件进行了模拟计算,同时用目前大口径光学元件的评价参数:P-V值,RMS值,以及波前梯度对模拟结果进行了分析.通过数控抛光的模拟分析可以全面的了解光学元件的面形情况,为实际的数控加工提供一定的参考.

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