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运用波导模式理论和光束传输的非傍轴矢量矩理论，对隧道级联InGaAs／GaAs／AlGaAs半导体激光器的光束质量进行了理论研究．分析了隧道级联半导体激光器内限制层厚度和垂直方向光束质量因子的关系．结果表明，在隧道结耦合距离内，隧道结不仅起到了再生载流子的作用，也作为无源波导拓展了光场，减小了垂直发散角，降低了光束质量因子．根据模拟结果设计并制备了高光束质量，小垂直发散角的隧道级联耦合大光腔半导体激光器，其阈值电流密度为271A／cm^2，斜率效率为1．49W／A，垂直发散角为17．4°，光束质