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在半导体芯片制造中越来越广泛使用多组合设备．本文介绍了多组合设备的结构配置、生产运行过程、调度控制问题的一般特征条件、应该满足的约束及周期性调度策略；分析了问题的复杂性因素．从多组合设备的结构特征、运行过程特征两方面分类综述了调度问题的建模、分析方法、调度算法及存在的问题，最后指出了未来的研究方向．