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晶体膜碘离子半导体传感器的研究

来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：marina12345

【摘 要】

：

本文报导以Si₃N₄/SiO₄为绝缘膜,用AgI-Ag₂S晶体为敏感膜的碘离子敏感半导体器件,并对其敏感机理进行了分析.测试结构表明,该器

【作 者】

：

黄强 方培生 

【机 构】

：

西安交通大学,西安交通大学

【出 处】

：

传感技术学报

【发表日期】

：

1990年3期

【关键词】

：

离子选择性场效应晶体管 晶体膜 传感器 碘离子 ion selective field effect transistor (ISFET) crystal me 

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本文报导以Si₃N₄/SiO₄为绝缘膜,用AgI-Ag₂S晶体为敏感膜的碘离子敏感半导体器件,并对其敏感机理进行了分析.测试结构表明,该器件具有良好的稳定性和重现性,对碘离子的线性响应范围为1×10^-6～1×10^-1

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