基于MS3110的微电容加速度计信号处理电路的设计与实现

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三明治式电容微加速度计利用检测微弱差分信号的原理实现对加速度计的应用,但由于工艺等方面的原因可能导致无法准确的对该微弱信号进行检测,进而致使后续电路无法正常应用。通常的检测方法可能存在一些噪声和稳定性上的缺陷。本文采用一种通用的电容读出芯片MS3110实现对电容式微加速度计的检测,检测前使用单片机将程序写入该芯片,调节其内部参数,使之具有艮好的线性度及灵敏度状态。实验结果表明该芯片可满足一定输入范围内的电容差分信号,并具有较好的对称性。
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