【摘 要】
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由真空蒸镀所获得的薄膜,是实现部件超小型化的有力手段之一,但在真空中的薄膜表面,易受剩余气体成分,分压强,蒸发温度和时间的影响以及蒸发源的形式,温度等影响而产生变化。
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由真空蒸镀所获得的薄膜,是实现部件超小型化的有力手段之一,但在真空中的薄膜表面,易受剩余气体成分,分压强,蒸发温度和时间的影响以及蒸发源的形式,温度等影响而产生变化。另外,如何既经济又有效地进行电连接和涂敷保护层,在提高性能上也是一种重要问题。因此,除非常稳定地控
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