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集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度
集成电路静电放电模拟器校准与测量不确定度
来源 :电子测量与仪器学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ABC20090907
【摘 要】
:
集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和
【作 者】
:
邢荣欣
【机 构】
:
中国电子技术标准化研究所计量与检测中心
【出 处】
:
电子测量与仪器学报
【发表日期】
:
2011年06期
【关键词】
:
集成电路静电放电模拟器
短路电流波形
校准
测量不确定度
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集成电路静电放电模拟器是微电子元器件可靠性筛选的重要设备,通过模拟静电放电对器件的抗静电能力进行筛选.本文在分析静电放电模拟器工作原理的基础上,利用高频电流探头和高速率采样示波器实现了对模拟器的校准.文章还并结合校准实例,对测量不确定度进行了评定.
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