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介绍利用高灵敏复合光波导元件检测臭氧的一种新方法以及实验装置和臭氧的响应特征.通过在K+交换玻璃光波导表面形成高折射率TiO2 (两端带斜坡带状)膜并在其表面上固定色素铜化酞箐(Copper tetra-(t-buthyl) phthalocyanine, TBPcCu)而制成高灵敏度的复合光波导元件.臭氧存在时TBPcCu薄膜被氧化而退色,由此减弱TBPcCu膜对633nm 的导波光的吸收.本元件具有响应速度快,灵敏度高和检测极限在0.02 mg/m3等特点.