【摘 要】
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本文介绍了一种新型的旋涂硼掺杂剂。这种掺杂剂是根据硼-氮的化学性质制作出来的,它不同于根据硼-氧化学性质制作的常规旋涂硼掺杂剂。这种新的掺杂剂具有所有旋涂掺杂剂的
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本文介绍了一种新型的旋涂硼掺杂剂。这种掺杂剂是根据硼-氮的化学性质制作出来的,它不同于根据硼-氧化学性质制作的常规旋涂硼掺杂剂。这种新的掺杂剂具有所有旋涂掺杂剂的优点,并且消除了以B_2O_3为基础的旋涂材料所存在的问题。业已表明:可以采用此种掺杂剂成功地进行标准的二步扩散和一步扩散。
This article describes a new spin-on boron dopant. This dopant is made on the basis of the boron-nitrogen chemistry, which is different from the conventional spin-on boron dopants made from boron-oxygen chemistry. This new dopant has the advantage of all spin-on dopants and eliminates the problems that exist with spin-on materials based on B 2 O 3. It has been shown that this type of dopant can be successfully used for standard two-step diffusion and one-step diffusion.
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