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利用溶胶一凝胶技术制备了Ti02纳米晶多孔薄膜。通过SEM、XRD、AFM和UV-Vis等测量手段对TiO2薄膜的相组成、表面形貌、膜厚和光吸收特性进行了表征和研究。实验结果表明:热处理温度为550℃时,TiO2薄膜为锐钛矿晶型;钸、镧共掺杂可以细化晶粒并且有效提高薄膜对可见光的吸收;膜层厚度为600nm时,光催化性能最佳。