【摘 要】
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3.7前端工艺2008年,绝大多数的前端工艺技术需求表都需要进行更新。最重要的更新是表FEP4a和4b:热生长/薄膜/掺杂/刻蚀。表FEP4的变动受到新的ORTC高性能、低待机功耗、低运
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3.7前端工艺2008年,绝大多数的前端工艺技术需求表都需要进行更新。最重要的更新是表FEP4a和4b:热生长/薄膜/掺杂/刻蚀。表FEP4的变动受到新的ORTC高性能、低待机功耗、低运行功耗逻辑器件物理栅长按比例缩小模型的驱动。
3.7 Front-end process In 2008, the vast majority of front-end process technology needs to be updated. The most important updates are Tables FEP4a and 4b: Thermal Growth / Film / Doping / Etching. Table FEP4 changes are driven by the new ORTC high-performance, low standby power, low running power-gate logic gate scale-down model.
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