【摘 要】
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针对目前微镜驱动存在的一些问题,提出了一种基于PLZT(锆钛酸铅镧陶瓷)/PVDF(聚偏氟乙烯)驱动的非接触式微镜平移机构.首先根据非接触式微镜平移机构各功能部件来确定总体的
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针对目前微镜驱动存在的一些问题,提出了一种基于PLZT(锆钛酸铅镧陶瓷)/PVDF(聚偏氟乙烯)驱动的非接触式微镜平移机构.首先根据非接触式微镜平移机构各功能部件来确定总体的设计方案.然后对微镜平移机构进行理论分析和设计计算,确定微镜平移机构的尺寸参数.最后对总体机构的位移、应力进行有限元分析.分析结果表明,光控微镜平移机构计算结果与模拟结果具有较好的一致性,验证了平移机构设计的合理性和可行性.基于PLZT/PVDF驱动的微镜平移机构可实现二维运动并对微镜进行精确有效的位移控制,具有响应速度快、非接触式、
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