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位置敏感器PSD在几何量测量中的应用和展望
位置敏感器PSD在几何量测量中的应用和展望
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:hanson1023
【摘 要】
:
本文介绍了位置敏感器PSD的结构原理及特点,对多种光电转换元件的性能及特点进行了归纳比较,并阐述了PSD在几何量测量中的各种应用及其发展动向.
【作 者】
:
陈刚
范天泉
【机 构】
:
中国科学院光电技术研究所
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
1996年12期
【关键词】
:
位置敏感器
几何量测量
应用
展望
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本文介绍了位置敏感器PSD的结构原理及特点,对多种光电转换元件的性能及特点进行了归纳比较,并阐述了PSD在几何量测量中的各种应用及其发展动向.
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