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期刊论文
正压漏孔校准装置
正压漏孔校准装置
来源 :真空科学与技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:comeon833833
【摘 要】
:
正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为1×102~5×10-5Pa.L/s。
【作 者】
:
张涤新
李得天
张建军
许珩
冯焱
龚月莉
【机 构】
:
兰州物理研究所
【出 处】
:
真空科学与技术
【发表日期】
:
2001年1期
【关键词】
:
真空计量学
漏率校准
正压漏孔
校准装置
质谱检漏仪
标定
正压检漏
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正压漏孔校准装置是校准气体漏率的计量标准,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校准,校准范围为1×102~5×10-5Pa.L/s。
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