离子研磨减薄及其应用

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在用透射电子显微镜进行工作时,制备试样是十分重要的环节。为了直接观察材料的内部组织结构及其精细结构,发展了各种试样制备方法。由于透射电镜的穿透能力有限,加速电压为100KV的普通电镜可能穿透的不锈钢厚度为1000左右。虽然加速电压为1000KV的超高压电镜号称能穿透1μ厚的不锈钢试样,但这种电镜太昂贵。为了获得 When working with transmission electron microscopy, preparation of the sample is a very important part. In order to directly observe the internal structure of the material and its fine structure, a variety of sample preparation methods have been developed. Due to the limited penetration ability of TEM, the thickness of stainless steel that ordinary TEM with acceleration voltage of 100KV may penetrate is about 1000. Although 1000KV accelerating voltage is known as ultra-high voltage electron microscope can penetrate 1μ thick stainless steel sample, but this kind of electron microscope is too expensive. in order to achieve
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