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期刊论文
薄膜结构对Si/SiO2 I-V特性的影响
薄膜结构对Si/SiO2 I-V特性的影响
来源 :物理实验 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tt7506
【摘 要】
:
用射频磁控溅射法制备了3种结构的Si/SiO2纳米薄膜,测定了薄膜的I-V特性.实验结果分析表明,薄膜结构是影响其FV特性的主要因素.
【作 者】
:
马自军
马书懿
【机 构】
:
甘肃农业大学理学院,西北师范大学物理与电子工程学院
【出 处】
:
物理实验
【发表日期】
:
2009年3期
【关键词】
:
射频磁控溅射
Si/SiO2纳米薄膜
I-V特性
RF magnetron sputtering
nano-size Si/SiO2 film
I-V pr
【基金项目】
:
国家自然科学基金资助项目(No.10874140),甘肃省自然科学基金资助项目(No.0710RJZA105),教育部科学技术研究资助项目(No.204.139),甘肃农业大学理学院青年教师科研基金资助项目(No.lxy_02).
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用射频磁控溅射法制备了3种结构的Si/SiO2纳米薄膜,测定了薄膜的I-V特性.实验结果分析表明,薄膜结构是影响其FV特性的主要因素.
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