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在行波型超声电机结构分析和工作状态分析的基础上,对其频率跟踪技术的原理和实质进行了探讨。同时,根据行波型超声电机驱动器的设计原理,分析了频率跟踪技术可以采用的反馈信号。在此基础上,对超声电机频率跟踪技术进行了分类和总结,提出了五种频率跟踪方法,并对其进行了分析比较。最后,对行波型超声电机频率跟踪技术的应用和发展提出了见解。