【摘 要】
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【目的】随着大数据需求的快速增长，电子芯片及其互连技术逐渐难以满足计算和存储系统对高速数据传输和高能效的要求。相比于传统的电子芯片，硅基光子（SiP）集成芯片拥有更低的成本，更高的集成密度以及更大的通信容量。微环谐振器（MRR）作为一种重要的光学器件，具有高灵敏度、小尺寸、低功耗等优点，被广泛应用于光学通信、光电子学和传感器等领域。微环谐振器可以用于实现高速光通信和光信号处理等应用。通过在微环谐振
【基金项目】
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国家重点研发计划项目（2018YFB2200500）； 国家自然科学基金项目（61204080）； 国家重点实验室基金项目（SKL201804）； 陕西省重点研发计划项目（2022GY-012，2020KW-011）； 西安市科技计划项目（2020KJRC0026
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【目的】随着大数据需求的快速增长，电子芯片及其互连技术逐渐难以满足计算和存储系统对高速数据传输和高能效的要求。相比于传统的电子芯片，硅基光子（SiP）集成芯片拥有更低的成本，更高的集成密度以及更大的通信容量。微环谐振器（MRR）作为一种重要的光学器件，具有高灵敏度、小尺寸、低功耗等优点，被广泛应用于光学通信、光电子学和传感器等领域。微环谐振器可以用于实现高速光通信和光信号处理等应用。通过在微环谐振器中注入光信号，可以实现光信号的滤波、调制和放大等功能，从而提高光通信的传输速率和可靠性。【方法】文章主要从不同结构和不同材料两个角度总结了目前国内外硅基微环谐振器的研究进展，分析了常规圆形结构、跑道型结构、多环级联结构以及其它几种结构对微环谐振器的应用限制和性能影响，对比了不同材料在制备微环谐振器时的优势和不足。并针对品质因子、自由频谱宽度、3 dB带宽等影响器件性能的参数做了详细的横向以及纵向比较。【结果】通过总结微环谐振器不同结构的特点，对比不同材料平台的优势和不足，为未来进一步研发更高集成度和更高性能的微环谐振器光子器件提供了思路。【结论】随着研究的不断深入和工艺的不断进步，微环谐振器的应用不再局限于科研领域，而将更多地进入应用领域。
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