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一种脉冲激光淀积法制备低温相偏硼酸钡单晶薄膜,它是采用脉冲激光淀积法,将α-BBO靶材的表层分子熔蒸出来,在加热的α-BBO衬底上淀积生成β-BBO单晶薄膜。本方法可以在α-BBO衬底上生长出符合需要的微米量级的α-BBO单晶薄膜,不仅节省材料,还可以批量生产,对激光技术以及集成光学的发展具有重要的意义。