【摘 要】
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研究了两种金属基体（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ－Ｃ）上沉积的、以钇稳定的ＺｒＯ２（ＹＳＺ）为过渡导的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｙ薄膜结构，并讨论了结构与沉积条件的关系，当沉积速度低时，ＹＳＺ层致密、均匀，存在织构取向，且与基体连接良好；而高速率沉积的ＹＳＺ层疏松，与
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研究了两种金属基体（Ｈａｓｔｅｌｌｏｙ－Ｃ）上沉积的、以钇稳定的ＺｒＯ２（ＹＳＺ）为过渡导的ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－ｙ薄膜结构，并讨论了结构与沉积条件的关系，当沉积速度低时，ＹＳＺ层致密、均匀，存在织构取向，且与基体连接良好；而高速率沉积的ＹＳＺ层疏松，与基体结合差。ＹＢＣＯ薄膜的结构和性能与沉积时的体温相关。
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