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数显卡尺容栅定栅母板的研制
数显卡尺容栅定栅母板的研制
来源 :机械工程师 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yhb819
【摘 要】
:
介绍了容栅定栅母板的光刻原理、光刻设备及工艺流程.
【作 者】
:
宋健
张伟宏
【机 构】
:
哈尔滨量仪研究所,青岛海泰电气股份合作公司
【出 处】
:
机械工程师
【发表日期】
:
2001年9期
【关键词】
:
容栅
定栅母板
光刻
曝光
数显卡尺
研制
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介绍了容栅定栅母板的光刻原理、光刻设备及工艺流程.
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