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期刊论文
Nb表达的清洁处理
Nb表达的清洁处理
来源 :物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kanshu
【摘 要】
:
本文介绍了用电子束加热(1500℃)及同时用氩离子溅射的方法进行金属Nb的表面清洁处理,处理结果良好。
【作 者】
:
胡兹甫
吴建新
等
【机 构】
:
中国科学技术大学材料科学系,中国科学技术大学结构成分分析中心
【出 处】
:
物理
【发表日期】
:
1990年1期
【关键词】
:
铌
表面清洁处理
电子束加热
氩离子溅射
【基金项目】
:
中国科学技术大学结构成分分析研究中心资助.
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本文介绍了用电子束加热(1500℃)及同时用氩离子溅射的方法进行金属Nb的表面清洁处理,处理结果良好。
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