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文章叙述了采用金属有机物四异丙基钛(Ti(OC3H7)4)为钛源,在外加热PCVD设备上沉积Ti(CN)涂层。并对涂层进行了其显微镜硬度测量,扫描电镜(SEM)观察和X射线衍射(XRD)分析。结果表明,此法制备的Ti(CN)涂层其显微硬度可达标15600N/mm^2膜层结构仍为柱状晶,Ti(CN)晶体的d(200)随着炉温的升高和H2,N2比的增大在逐渐变化。