【摘 要】
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本文针对铟锌氧化物薄膜晶体管（IZO TFT）的低频噪声特性与变频电容-电压特性展开试验研究,基于上述特性对有源层内局域态密度及其在禁带中的分布进行参数提取。首先,基于IZO TF
【机 构】
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华南理工大学电子与信息学院,工业和信息化部电子第五研究所,华南理工大学
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本文针对铟锌氧化物薄膜晶体管（IZO TFT）的低频噪声特性与变频电容-电压特性展开试验研究,基于上述特性对有源层内局域态密度及其在禁带中的分布进行参数提取。首先,基于IZO TFT 的亚阈区I-V 特性提取器件表面势随栅源电压的变化关系。基于载流子数随机涨落模型,在考虑有源层内缺陷态俘获/释放载流子效应基础上,通过γ因子提取深能态陷阱的特征温度；基于沟道电流噪声功率谱密度及平带电压噪声功率谱密度的测量,提取IZO TFT有源层内局域态密度及其分布。试验结果表明,带尾态缺陷在禁带内随能量呈e指数变化趋势,
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